硅晶圓的生產(chǎn)清洗用水主要應(yīng)用的是超純水設(shè)備所產(chǎn)出的超純水,該設(shè)備主要采用的工藝為預(yù)處理+反滲透+EDI模塊組合形式。整體工藝具有高效低能、運(yùn)行成本低,水資源利用率高、運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)。...
超純水設(shè)備可連續(xù),穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水,無(wú)須因樹(shù)脂再生而停機(jī)。整個(gè)設(shè)備搭載了PLC智能化程序,能靈活方便地進(jìn)行操作,節(jié)省了人力投入,并采用新型材料對(duì)管道表面進(jìn)行處理,保證系統(tǒng)運(yùn)行無(wú)污染物析出,...
超純水系統(tǒng)是一種用于制備超純水的設(shè)備和技術(shù)。超純水是指水中不含任何雜質(zhì),包括離子、有機(jī)物、微生物等。這種水平對(duì)于電子芯片制造和實(shí)驗(yàn)室研究來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的。...
超純水設(shè)備采用了雙級(jí)反滲透系統(tǒng)+EDI模塊的處理工藝,出水電阻率可達(dá)16 MΩ*cm(25℃)。這種水中除了氫原子和氧原子之外,基本不含有任何其他物質(zhì),比普通純凈水水質(zhì)更高,并且是一種非飲用水。...
超純水設(shè)備采用了獨(dú)有的靶向離子交換系統(tǒng)針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,PLC智能化程序能靈活進(jìn)行操作。...
芯片生產(chǎn)中使用的超純水系統(tǒng)內(nèi)部還安置的反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),從根本上保障了超純水出水水質(zhì),不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,對(duì)于保護(hù)環(huán)境來(lái)說(shuō)有著重要的意義。...
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