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年產(chǎn)超10億的半導(dǎo)體項目開工 超純水設(shè)備嚴(yán)把半導(dǎo)體水質(zhì)關(guān)

2022-07-27

  近日,葛店芯致半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項目開工儀式在葛店經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行。據(jù)悉,葛店鑫智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項目位于湖北省鄂州市葛店經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),總建筑面積6萬多平方米,包括專業(yè)生產(chǎn)廠房三棟、研發(fā)辦公樓一棟以及員工宿舍、餐廳、倉庫、污水處理站等配套設(shè)施。項目建成后,年產(chǎn)值可達(dá)10多億元。為中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化做出積極貢獻。

  在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中,幾乎每道工序都需要超純水清洗,工件直接與水接觸。一旦水質(zhì)不合格,或水中含有雜質(zhì),就會降低裝置的性能,降低產(chǎn)量。確保超純水的質(zhì)量是中國自主研發(fā)芯片的重要基礎(chǔ)。傳統(tǒng)的超純水生產(chǎn)工藝采用陰離子樹脂交換設(shè)備。這種工藝的缺點是,樹脂在使用一段時間后應(yīng)經(jīng)常再生。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,采用反滲透工藝,或反滲透后再采用EDI和拋光混床工藝生產(chǎn)超純水。出水電導(dǎo)率可達(dá)18.2mΩ,滿足芯片行業(yè)用水需求。

超純水設(shè)備

  萊特萊德超純水設(shè)備中,水箱配備液位控制系統(tǒng),水泵配備壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測和控制儀表,電氣采用PLC可編程控制器,真正實現(xiàn)無人值守。同時,在工藝材料的選擇上,采用了推薦與顧客要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其他同類產(chǎn)品相比具有更高的性價比。我們的目標(biāo)是成為客戶可靠的服務(wù)商,為客戶提供不僅價格合理,而且價格合理、使用更好的環(huán)保解決方案!

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