兩大重點項目落戶錫山 超純水助力中國“芯”發(fā)力

　　無錫錫山集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)園是以打造錫山“四新四強”產(chǎn)業(yè)集群為重點的特色專業(yè)園區(qū)。去年以來，錫山確立了“產(chǎn)業(yè)集群+特色專業(yè)園”的發(fā)展模式，圍繞“四新四強”產(chǎn)業(yè)集群規(guī)劃建設(shè)了19個特色專業(yè)園，其中“一中心、兩基地、兩園區(qū)”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展新格局將圍繞集成電路行業(yè)建設(shè)。

　　集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求就越高。這種集成電路相當(dāng)于電子工業(yè)的“大腦”。雖然它只有指甲那么大，但數(shù)十億納米級晶體管應(yīng)該放在集成電路板上。在集成電路生產(chǎn)中，80%以上的工藝需要化學(xué)處理，而每一種化學(xué)處理都離不開水。因此，半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)用水的水質(zhì)也有非常嚴(yán)格的要求，因為一旦水質(zhì)不合格或水中含有雜質(zhì)，就會降低器件的性能和產(chǎn)量。因此，生產(chǎn)中需要使用超純水。集成電路行業(yè)使用的水是否合格也決定了產(chǎn)品能否獲勝。

　　傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備，但離子交換樹脂的關(guān)閉需要樹脂再生，這需要耗費物力和人力。然而，經(jīng)過多年的實踐，萊特萊德公司結(jié)合膜分離技術(shù)，采用反滲透結(jié)合EDI裝置和精混床的工藝制備超純水，其出水電阻率可達(dá)18MΩ·cm(25℃)，有助于中國“芯”的發(fā)展。

　　集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)發(fā)展的基石。無錫是中國集成電路產(chǎn)業(yè)的搖籃。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈完整，配套設(shè)施完善，內(nèi)幕信息深刻。在此背景下，無錫錫山集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)園應(yīng)運而生，并將努力打造成為無錫乃至江蘇省具有核心競爭力的集成電路特色專業(yè)園。江蘇省半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會也將積極參與并為園區(qū)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。